Усули кӯраи афзоиши кристалл Sapphire KY Kyropoulos барои истеҳсоли сапфир вафли ва тирезаи оптикӣ
Принсипи кор
Принсипи асосии усули KY гудохтани ашёи хоми баландсифати Al₂O₃ дар тигели волфрам/молибденро дар ҳарорати 2050°C дар бар мегирад. Кристали тухмӣ ба гудохта фуроварда мешавад ва пас аз он гирифтани назорат (0,5–10 мм/соат) ва гардиш (0,5–20 чархзанӣ) барои ноил шудан ба афзоиши самти як кристаллҳои α-Al₂O₃. Хусусиятҳои асосӣ инҳоянд:
• Кристаллҳои андозааш калон (макс. Φ400 мм × 500 мм)
• Сафири оптикии дараҷаи пасти фишор (тахрифи пеши мавҷ <λ/8 @ 633 нм)
• Кристалҳои омехта (масалан, допинги Ti³⁰ барои сапфири ситора)
Унсурҳои асосии система
1. Системаи обшавии ҳарорати баланд
• Тигели таркибии волфрам-молибден (ҳарорати максимум 2300°C)
• Гармкунаки бисёрсоҳаи графитӣ (назорати ҳарорат ±0,5°C)
2. Системаи афзоиши кристалл
• Механизми кашидани серво идорашаванда (дақиқии ±0,01 мм)
• Мӯҳри гардиши моеъи магнитӣ (танзими суръати беқадами 0-30 чархзанӣ)
3. Назорати майдони гармӣ
• 5-минтақавии назорати мустақили ҳарорат (1800–2200°C)
• Сипари гармии танзимшаванда (градиенти ±2°C/см)
• Системаи Вакуум ва Атмосфера
• Вакууми баланд 10⁻⁴ Па
• Назорати гази омехтаи Ar/N₂/H₂
4. Мониторинги интеллектуалӣ
• CCD мониторинги диаметри кристалл дар вақти воқеӣ
• Муайян кардани сатҳи обшавии бисёрспектрӣ
Муқоисаи усули KY ва CZ
Параметр | Усули KY | Усули CZ |
Макс. Андозаи кристалл | Φ400мм | Φ200мм |
Суръати афзоиш | 5-15 мм/соат | 20-50 мм/соат |
Зичии камбудиҳо | <100/см² | 500-1000/см² |
Истеъмоли энергия | 80-120 кВт/соат/кг | 50-80 кВт/соат/кг |
Барномаҳои маъмулӣ | Тирезаҳои оптикӣ / вафли калон | субстратҳои LED / заргарӣ |
Барномаҳои асосӣ
1. Тирезаҳои оптоэлектронӣ
• Гунбазҳои IR ҳарбӣ (интиқоли >85%@3–5 мкм)
• Тирезаҳои лазерии ултрабунафш (тобовар ба зичии нерӯи 200 Вт/см²)
2. Субстратҳои нимноқилӣ
• Вафли эпитаксиалии GaN (2–8 дюйм, TTV <10 мкм)
• Субстратҳои SOI (ноҳамвории сатҳи <0,2 нм)
3. Электроникаи маишӣ
• Шишаи сарпӯши камераи смартфон (сахтии Mohs 9)
• Дисплейҳои Smartwatch (10 маротиба такмил додани муқовимат ба харошидан)
4. Маводҳои махсус
• Оптикаи баландсифати IR (коэффисиенти азхудкунӣ <10⁻³ см⁻¹)
• Тирезаҳои мушоҳидаи реактори ҳастаӣ (таҳаммулпазирии радиатсионӣ: 10¹⁶ n/cm²)
Афзалиятҳои Таҷҳизоти афзоиши кристалл Sapphire Kyropoulos (KY)
Таҷҳизоти парвариши булӯри сапфир дар асоси усули Kyropoulos (KY) бартариҳои беҳамтои техникӣ пешниҳод мекунад ва онро ҳамчун як ҳалли пешрафта барои истеҳсоли миқёси саноатӣ ҷойгир мекунад. Манфиатҳои асосӣ инҳоянд:
1. Имконияти диаметри калон: Қобилияти парвариши кристаллҳои сапфири то 12 дюйм (300 мм) бо диаметри, имкон медиҳад, ки истеҳсоли ҳосили баланд вафли ва ҷузъҳои оптикиро барои барномаҳои пешрафта ба монанди GaN epitaxy ва тирезаҳои дараҷаи ҳарбӣ таъмин кунад.
2. Зичии норасоиҳои ултра паст: тавассути тарҳрезии оптимизатсияи майдони гармӣ ва назорати дақиқи градиенти ҳарорат ба зичии дислокатсия ноил мешавад, ки барои дастгоҳҳои оптоэлектроникӣ тамомияти олии кристаллро таъмин мекунад.
3. Иҷрои оптикии баландсифат: Гузаришро >85% дар саросари спектрҳои инфрасурх (400–5500 нм), ки барои равзанаҳои лазерии ултрабунафш ва оптикаи инфрасурх муҳим аст, мерасонад.
4. Автоматикунонии пешрафта: Хусусиятҳои механизмҳои кашидани серво (дақиқии ± 0,01 мм) ва мӯҳрҳои гардиши моеъи магнитӣ (назорати бе қадами 0-30 чархзанӣ) дорад, ки дахолати инсонро кам мекунад ва мутобиқатиро беҳтар мекунад.
5. Имконоти фасеҳи допинг: Мутобиқсозӣ бо допантҳо ба монанди Cr³⁰ (барои ёқут) ва Ti³⁰ (барои сапфири ситора) дастгирӣ мекунад, ки ба бозорҳои чароғҳои оптоэлектроника ва ҷавоҳирот хизмат мекунад.
6. Самаранокии энергия: Изолятсияи гармидиҳии оптимизатсияшуда (тигели волфрам-молибден) масрафи энергияро то 80-120 кВт/кг коҳиш медиҳад, ки бо усулҳои алтернативии афзоиш рақобатпазир аст.
7. Истеҳсоли миқёспазир: Истеҳсоли ҳармоҳаи 5,000+ вафлиро бо давраҳои зуд (8-10 рӯз барои кристаллҳои 30-40 кг), ки аз ҷониби зиёда аз 200 насби ҷаҳонӣ тасдиқ шудааст, ба даст меорад.
.
8. Давомнокии дараҷаи ҳарбӣ: Тарҳҳои ба радиатсионӣ тобовар ва маводи ба гармӣ тобоварро (тобовар ба 10¹⁶ n/cm²) дар бар мегирад, ки барои барномаҳои кайҳонӣ ва ҳастаӣ муҳиманд.
Ин навовариҳо усули KY-ро ҳамчун стандарти тиллоӣ барои истеҳсоли кристаллҳои сапфири баландсифат, пешрафт дар коммуникатсияҳои 5G, ҳисоббарории квантӣ ва технологияҳои мудофиа мустаҳкам мекунанд.
Хидматҳои XKH
XKH ҳалли ҳамаҷонибаи калидии системаҳои афзоиши булӯри сапфирро пешниҳод мекунад, ки насб, оптимизатсияи раванд ва омӯзиши кормандонро дар бар мегирад, то ҳамгироии бефосилаи амалиётро таъмин кунад. Мо дастурҳои пешаки тасдиқшудаи афзоишро (50+) пешниҳод менамоем, ки ба эҳтиёҷоти гуногуни саноатӣ мутобиқ карда шудаанд, ки вақти R&D-ро барои мизоҷон ба таври назаррас кам мекунанд. Барои барномаҳои махсусгардонидашуда, хидматрасонии таҳияи фармоишӣ мутобиқсозии ковокҳо (Φ200–400 мм) ва системаҳои пешрафтаи допинг (Cr/Ti/Ni), ки ҷузъҳои оптикии баландсифат ва маводи ба радиатсионӣ тобоварро дастгирӣ мекунанд, имкон медиҳад.
Хидматҳои арзиши иловашуда коркарди пас аз афзоиш ба монанди буридан, дастос кардан ва сайқал доданро дар бар мегиранд, ки бо маҷмӯи пурраи маҳсулоти сапфир, ба монанди вафли, қубурҳо ва бланкаҳои қиматбаҳо пурра карда мешаванд. Ин пешниҳодҳо ба бахшҳо аз электроникаи маишӣ то аэрокосмос дахл доранд. Дастгирии техникии мо кафолати 24-моҳа ва ташхиси фосилавии вақти воқеиро кафолат медиҳад, ки ҳадди ақали бекорӣ ва самаранокии устувори истеҳсолотро таъмин мекунад.


