SiC бозуи супоридани эффектори ниҳоии сафолӣ барои интиқоли вафли
Эффектори ниҳоии сафолии SiC Реферат
Эффектори ниҳоии сафолии SiC (Cilicon Carbide) як ҷузъи муҳим дар системаҳои коркарди вафли дақиқи баланд мебошад, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо ва муҳити пешрафтаи микрофабрика истифода мешаванд. Барои қонеъ кардани талаботҳои серталаби муҳити ултра тоза, ҳарорати баланд ва хеле мӯътадил тарҳрезӣ шудааст, ин эффекти махсусгардонидашуда интиқоли боэътимод ва бе ифлосшавии вафлиҳоро дар марҳилаҳои асосии истеҳсолӣ, аз қабили литография, ифлосшавӣ ва таҳшин таъмин мекунад.
Бо истифода аз хосиятҳои олии моддии карбиди кремний, аз қабили гузаронандагии баланди гармӣ, сахтии шадид, беэътиноии аълои кимиёвӣ ва ҳадди ақали васеъшавии гармӣ - эффекти ниҳоии сафолии SiC сахтии беҳамтои механикӣ ва устувории андозаро ҳатто дар шароити гардиши босуръати гармӣ ё камераҳои равандҳои зангзананда пешниҳод мекунад. Хусусиятҳои тавлиди зарраҳои паст ва муқовимати плазмаи он онро махсусан барои коркарди утоқҳои тоза ва вакуумӣ мувофиқ месозад, ки дар он ҷо нигоҳ доштани якпорчагии сатҳи вафли ва кам кардани ифлосшавии зарраҳо муҳим аст.
Барномаи эффектори ниҳоии сафолии SiC
1. Коркарди вафли нимноқил
Эффекторҳои ниҳоии сафолии SiC дар саноати нимноқилҳо барои коркарди вафли кремний ҳангоми истеҳсоли автоматикунонидашуда васеъ истифода мешаванд. Ин эффекторҳои ниҳоӣ одатан дар дастҳои роботӣ ё системаҳои интиқоли вакуум насб карда мешаванд ва барои ҷойгир кардани вафли андозаҳои гуногун ба монанди 200 мм ва 300 мм тарҳрезӣ шудаанд. Онҳо дар равандҳо, аз ҷумла таҳшиншавии буғи химиявӣ (CVD), таҳшиншавии буғи физикӣ (PVD), ифлосшавӣ ва диффузия муҳиманд, ки дар он ҷо ҳарорати баланд, шароити вакуум ва газҳои зангзананда маъмуланд. Муқовимати истисноии гармидиҳӣ ва устувории кимиёвии SiC онро як маводи идеалӣ мегардонад, ки ба чунин муҳити сахт бидуни таназзул тобовар бошад.
2. Мутобиқати ҳуҷраи тоза ва чангкашак
Дар танзимоти ҳуҷраи тоза ва вакуум, ки ифлосшавии зарраҳо бояд ба ҳадди ақал расонида шавад, сафолҳои SiC бартариҳои назаррас пешниҳод мекунанд. Сатҳи зиччи ва ҳамвори мавод ба тавлиди зарраҳо муқовимат мекунад ва барои нигоҳ доштани якпорчагии вафли ҳангоми интиқол кӯмак мекунад. Ин эффекторҳои ниҳоии SiC-ро махсусан барои равандҳои муҳим ба монанди Литографияи Extreme Ultraviolet (EUV) ва Депозитсияи қабати атомӣ (ALD), ки тозагӣ муҳим аст, мувофиқ месозад. Ғайр аз он, гази пасти SiC ва муқовимати баланди плазма кори боэътимодро дар камераҳои вакуумӣ таъмин намуда, мӯҳлати хизмати асбобҳоро дароз мекунад ва басомади нигоҳдории онро кам мекунад.
3. Системаҳои ҷойгиркунии мавқеъи дақиқ
Дақиқӣ ва устуворӣ дар системаҳои пешрафтаи коркарди вафли, бахусус дар метрология, санҷиш ва таҷҳизоти ҳамоҳангсозӣ муҳиманд. Керамикаи SiC дорои коэффисиенти бениҳоят пасти тавсеаи гармӣ ва сахтии баланд аст, ки ба эффектори ниҳоӣ имкон медиҳад, ки ҳатто дар зери гардиши гармӣ ё бори механикӣ дақиқии сохтории худро нигоҳ дорад. Ин кафолат медиҳад, ки вафлиҳо ҳангоми интиқол ба таври дақиқ мувофиқат карда, хатари микро харошидан, хатогиҳо ё хатогиҳои андозагирӣ - омилҳое, ки дар гиреҳҳои раванди зерсохторҳои 5 нм муҳимтар мешаванд, кам мекунанд.
Хусусиятҳои эффектори охири сафолии SiC
1. Қувваи баланди механикӣ ва сахтӣ
Сафолҳои SiC дорои қувваи истисноии механикӣ мебошанд, ки қувваи печиш аксар вақт аз 400 МПа ва қиматҳои сахтии Викерс аз 2000 Вт зиёд аст. Ин онҳоро ба фишори механикӣ, таъсир ва фарсудашавӣ, ҳатто пас аз истифодаи дарозмуддати амалиётӣ хеле тобовар мегардонад. Сахтии баланди SiC инчунин кашишро ҳангоми интиқоли вафли баландсуръат кам карда, мавқеи дақиқ ва такроршавандаро таъмин мекунад.
2. Устувории гармии аъло
Яке аз хосиятҳои пурарзиши сафолҳои SiC қобилияти тоб овардан ба ҳарорати бениҳоят баланд - аксар вақт то 1600 ° C дар атмосфераи инертӣ - бидуни гум кардани тамомияти механикӣ мебошад. Коэффисиенти пасти тавсеаи гармии онҳо (~4.0 x 10⁻⁶ /K) устувории андозагириро дар давраи гардиши гармӣ таъмин мекунад ва онҳоро барои барномаҳое ба мисли CVD, PVD ва гармкунии ҳарорати баланд беҳтарин мекунад.
Эффектори ниҳоии сафолии SiC Саволу Ҷавоб
Савол: Кадом мавод дар эффектори охири вафли истифода мешавад?
А:Эффекторҳои ниҳоии вафли одатан аз маводҳое сохта мешаванд, ки қувваи баланд, устувории гармӣ ва тавлиди зарраҳои камро пешниҳод мекунанд. Дар байни ин сафолҳои кремний карбиди (SiC) яке аз маводҳои пешрафта ва бартарӣ мебошад. Сафолҳои SiC бениҳоят сахт, гармӣ устувор, аз ҷиҳати кимиёвӣ безарар ва ба фарсудашавӣ тобовар мебошанд, ки онҳоро барои коркарди вафли кремнийи нозук дар муҳити тоза ва вакуумӣ беҳтарин месозад. Дар муқоиса бо металлҳои кварц ё пӯшида, SiC устувории андозагириро дар ҳарорати баланд пешниҳод мекунад ва зарраҳоро намерезад, ки ба пешгирии олудашавӣ мусоидат мекунад.
