Системаи самти вафл барои андозагирии самти кристалл

Системаи самти вафл барои ченкунии самти кристаллӣ Тасвири махсус

Тавсифи мухтасар:

Асбоби самти пластина дастгоҳи баланддақиқ аст, ки аз принсипҳои дифракцияи рентгенӣ барои беҳтар кардани равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо ва илми мавод тавассути муайян кардани самтҳои кристаллографӣ истифода мебарад. Ҷузъҳои асосии он манбаи рентгенӣ (масалан, Cu-Kα, дарозии мавҷи 0.154 нм), гониометри дақиқ (қарори кунҷӣ ≤0.001°) ва детекторҳо (CCD ё ҳисобкунакҳои сцинтиллятсионӣ) иборатанд. Бо гардиши намунаҳо ва таҳлили нақшҳои дифракция, он нишондиҳандаҳои кристаллографӣ (масалан, 100, 111) ва фосилаи шабакаро бо дақиқии ±30 сония камон ҳисоб мекунад. Система амалиётҳои автоматӣ, фиксатсияи вакуумӣ ва гардиши бисёрмеҳвариро дастгирӣ мекунад, ки бо пластинаҳои 2-8 дюймӣ барои ченкунии босуръати канорҳои пластина, сатҳҳои истинодӣ ва ҳамоҳангсозии қабати эпитаксиалӣ мувофиқ аст. Барномаҳои асосӣ тасдиқи кори карбиди силиконии буришӣ, пластинаҳои сапфирӣ ва теғи турбинаро дар бар мегиранд, ки мустақиман хосиятҳои электрикии чип ва ҳосилнокиро беҳтар мекунанд.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Муаррифии таҷҳизот

Асбобҳои самти вафлӣ дастгоҳҳои дақиқе мебошанд, ки бар принсипҳои дифракцияи рентгенӣ (XRD) асос ёфтаанд ва асосан дар истеҳсоли нимноқилҳо, маводҳои оптикӣ, керамика ва дигар соҳаҳои маводи кристаллӣ истифода мешаванд.

Ин асбобҳо самти шабакаи кристаллиро муайян мекунанд ва равандҳои дақиқи буридан ё сайқалдиҳиро роҳнамоӣ мекунанд. Хусусиятҳои асосӣ инҳоянд:

Андозагириҳои дақиқи баланд:Қобилияти ҳалли сатҳҳои кристаллографӣ бо қарори кунҷӣ то 0.001°
Мутобиқати намунаҳои калон:Вафлиҳоро то 450 мм диаметр ва 30 кг вазн доранд, ки барои маводҳо ба монанди карбиди кремний (SiC), сапфир ва кремний (Si) мувофиқанд.
Тарроҳии модулӣ:Функсияҳои васеъшаванда таҳлили каҷи ларзиш, харитасозии нуқсонҳои сатҳи сеченакаи ченкунӣ ва дастгоҳҳои ҳамворкунӣ барои коркарди намунаҳои сершуморро дар бар мегиранд.

Параметрҳои асосии техникӣ

Категорияи параметр	Арзишҳо/Танзимоти маъмулӣ
Манбаи рентгенӣ	Cu-Kα (нуқтаи марказии 0.4×1 мм), шиддати суръатбахшии 30 кВ, ҷараёни найчаи танзимшавандаи 0–5 мА
Диапазони кунҷӣ	θ: -10° то +50°; 2θ: -10° то +100°
Дақиқӣ	Ҳалли кунҷи майл: 0.001°, муайянкунии нуқсонҳои сатҳӣ: ±30 сония дар як сония (каҷхаттаи ларзиш)
Суръати сканкунӣ	Сканкунии Омега самти пурраи шабакаро дар 5 сония ба анҷом мерасонад; сканкунии тета тақрибан 1 дақиқа вақт мегирад
Марҳилаи намунавӣ	Чуқурии V-шакл, макидани пневматикӣ, гардиши бисёркунҷа, мувофиқ бо вафлиҳои 2-8 дюймӣ
Функсияҳои васеъшаванда	Таҳлили каҷи ларзиш, харитасозии 3D, дастгоҳи ҷамъкунӣ, муайянкунии нуқсонҳои оптикӣ (харошиданҳо, GB)

Принсипи фаъолият

1. Бунёди дифракцияи рентгенӣ

Шуоъҳои рентгенӣ бо ядроҳои атомӣ ва электронҳо дар шабакаи кристаллӣ ҳамкорӣ карда, нақшҳои дифраксияро ба вуҷуд меоранд. Қонуни Брэгг (nλ = 2d sinθ) муносибати байни кунҷҳои дифраксия (θ) ва фосилаи шабака (d)-ро танзим мекунад.
Детекторҳо ин нақшҳоро сабт мекунанд, ки барои барқарор кардани сохтори кристаллографӣ таҳлил карда мешаванд.

2. Технологияи сканкунии Омега

Кристалл дар атрофи меҳвари муқаррарӣ пайваста чарх мезанад, дар ҳоле ки нурҳои рентгенӣ онро равшан мекунанд.
Детекторҳо сигналҳои дифраксияро дар сатҳҳои сершумори кристаллографӣ ҷамъ мекунанд, ки имкон медиҳад самти пурраи шабака дар тӯли 5 сония муайян карда шавад.

3. Таҳлили каҷи рокинг

Кунҷи кристаллӣ бо кунҷҳои гуногуни афтиши рентгенӣ барои чен кардани паҳнои қулла (FWHM) ва арзёбии нуқсонҳои шабакавӣ ва деформатсия муқаррар карда шудааст.

4. Идоракунии автоматӣ

Интерфейсҳои PLC ва сенсорӣ имкон медиҳанд, ки кунҷҳои буридани пешакӣ муайяншуда, фикру мулоҳизаҳои воқеӣ ва ҳамгироӣ бо мошинҳои буридан барои идоракунии ҳалқаи пӯшида таъмин карда шаванд.

Афзалиятҳо ва хусусиятҳо

1. Дақиқӣ ва самаранокӣ

Дақиқии кунҷӣ ±0.001°, ҳалли ошкоркунии нуқсон <30 арксония.
Суръати сканкунии Омега нисбат ба сканкунии анъанавии Тета 200 маротиба тезтар аст.

2. Модулӣ ва миқёспазирӣ

Барои барномаҳои махсусгардонидашуда васеъшаванда (масалан, пластинаҳои SiC, теғҳои турбина).
Бо системаҳои MES барои мониторинги истеҳсолот дар вақти воқеӣ муттаҳид карда шудааст.

3. Мутобиқат ва устуворӣ

Намунаҳои шакли номунтазамро (масалан, пораҳои ёқути кафида) ҷойгир мекунад.
Тарҳи бо ҳаво хунуккунӣ ниёзҳои нигоҳдориро кам мекунад.

4. Амалиёти интеллектуалӣ

Калибрченкунӣ бо як клик ва коркарди бисёрвазифа.
Калибрченкунии худкор бо кристаллҳои истинодӣ барои кам кардани хатогиҳои инсонӣ.

Барномаҳо

1. Истеҳсоли нимноқилҳо

Самти буридани вафл: Самтҳои вафлии Si, SiC, GaN-ро барои самаранокии беҳтарини буридан муайян мекунад.
Харитасозии нуқсонҳо: Харошиданҳо ё ҷойивазкунии сатҳро барои беҳтар кардани ҳосилнокии чип муайян мекунад.

2. Маводҳои оптикӣ

Кристаллҳои ғайрихаттӣ (масалан, LBO, BBO) барои дастгоҳҳои лазерӣ.
Аломатгузории сатҳи истинодии вафли ёқутӣ барои субстратҳои LED.

3. Керамикӣ ва композитҳо

Самти ғалладонагиҳоро дар Si3N4 ва ZrO2 барои истифода дар ҳарорати баланд таҳлил мекунад.

4. Таҳқиқот ва назорати сифат

Донишгоҳҳо/лабораторияҳо барои таҳияи маводҳои нав (масалан, хӯлаҳои дорои энтропияи баланд).
Назорати сифати саноатӣ барои таъмини мувофиқати партия.

Хизматрасониҳои XKH

XKH дастгирии ҳамаҷонибаи техникии давраи ҳаётро барои асбобҳои самти пластина, аз ҷумла насб, беҳсозии параметрҳои раванд, таҳлили каҷи ларзиш ва харитасозии нуқсонҳои сатҳи сеченака, пешниҳод мекунад. Ҳалли мувофиқ (масалан, технологияи ҷамъкунии пораҳо) барои баланд бардоштани самаранокии истеҳсоли нимноқилҳо ва маводи оптикӣ ба андозаи зиёда аз 30% пешниҳод карда мешавад. Як гурӯҳи махсус омӯзиши дар ҷои кор анҷом медиҳад, дар ҳоле ки дастгирии фосилавии шабонарӯзӣ ва ивазкунии босуръати қисмҳои эҳтиётӣ эътимоднокии таҷҳизотро таъмин мекунанд.

Қаблӣ: Табақчаи керамикии SiC барои интиқолдиҳандаи вафлӣ бо муқовимати ҳарорати баланд

Баъдӣ: Лабораторияи ашёи хоми сапфири зард - барои истеҳсоли ҷавоҳирот сохта шудааст