Системаи ориентацияи вафли барои андозагирии самти кристалл

Системаи ориентацияи вафли барои ченкунии самти кристалл тасвири тавсифшуда

Тавсифи кӯтоҳ:

Асбоби ориентацияи вафли як дастгоҳи дақиқи баландест, ки принсипҳои дифраксияи рентгениро барои оптимизатсияи равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо ва илмҳои моддӣ тавассути муайян кардани самтҳои кристаллографӣ истифода мебарад. Ба ҷузъҳои асосии он манбаи рентгенӣ (масалан, Cu-Kα, дарозии мавҷҳои 0,154 нм), гониометри дақиқ (ҳалномаи кунҷӣ ≤0,001°) ва детекторҳо (CCD ё ҳисобкунакҳои сцинтилятсия) дохил мешаванд. Бо гардиши намунаҳо ва таҳлили намунаҳои дифраксия, он нишондиҳандаҳои кристаллографиро (масалан, 100, 111) ва фосилаи торро бо дақиқии ±30 камон сония ҳисоб мекунад. Система амалиёти автоматикунонидашуда, фикси вакуумӣ ва гардиши бисёр меҳварро дастгирӣ мекунад, ки бо вафли 2-8 дюймӣ барои ченкунии босуръати кунҷҳои вафли, ҳавопаймоҳои истинодӣ ва ҳамоҳангсозии қабати эпитаксиалӣ мувофиқ аст. Барномаҳои калидӣ дар бар мегиранд, ки карбиди кремний, вафли сапфир ва санҷиши кори турбинаро дар ҳарорати баланд, бевосита баланд бардоштани хосиятҳои электрикии чипҳо ва ҳосилнокӣ доранд.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Муқаддимаи таҷҳизот

Асбобҳои ориентацияи вафли дастгоҳҳои дақиқ дар асоси принсипҳои дифраксияи рентгенӣ (XRD) мебошанд, ки асосан дар истеҳсоли нимноқилҳо, маводи оптикӣ, сафолӣ ва дигар соҳаҳои маводи кристаллӣ истифода мешаванд.

Ин асбобҳо самти торҳои кристалиро муайян мекунанд ва равандҳои дақиқи буридан ё сайқал доданро роҳнамоӣ мекунанд. Хусусиятҳои асосӣ инҳоянд:

Андозагирии дақиқи баланд:Қобилияти ҳал кардани ҳавопаймоҳои кристаллографӣ бо қарорҳои кунҷӣ то 0,001 °.
Мутобиқати намунаи калон:Диаметри то 450 мм ва вазнаш 30 кг пласҳоро дастгирӣ мекунад, ки барои маводҳо ба монанди карбиди кремний (SiC), сапфир ва кремний (Si) мувофиқанд.
Тарҳрезии модулӣ:Функсияҳои васеъшаванда аз таҳлили каҷҳои ҷунбиш, харитасозии нуқсонҳои сатҳи 3D ва дастгоҳҳои stacking барои коркарди чанд намуна иборатанд.

Параметрҳои асосии техникӣ

Категорияи параметр	Арзишҳои маъмулӣ/конфигуратсия
Манбаи рентген	Cu-Kα (нуқтаи фокусии 0,4×1 мм), шиддати суръатбахши 30 кВ, ҷараёни танзимшавандаи қубур 0–5 мА
Диапазони кунҷӣ	θ: -10° то +50°; 2θ: -10° то +100°
дақиқӣ	Қатъи кунҷи майл: 0,001°, ошкоркунии нуқсонҳои рӯизаминӣ: ±30 камонсония (каҷи ҷунбиш)
Суръати сканкунӣ	Сканкунии Омега самти пурраи торро дар 5 сония анҷом медиҳад; Сканкунии тета ~ 1 дақиқа мегирад
Марҳилаи намунавӣ	V-groove, пневматикӣ, гардиши бисёркунҷа, мувофиқ бо вафли 2-8-дюймаи
Функсияҳои васеъшаванда	Таҳлили хати каҷ, харитасозии 3D, дастгоҳи stacking, ошкоркунии нуқсонҳои оптикӣ (харошидан, ГБ)

Принсипи кор

1. Фонди дифраксияи рентгенӣ

Нурҳои рентгенӣ бо ядроҳои атомӣ ва электронҳо дар торҳои кристаллӣ мутақобила карда, шаклҳои дифраксияро ба вуҷуд меоранд. Қонуни Брегг (nλ = 2d sinθ) муносибати байни кунҷҳои дифраксионӣ (θ) ва фосилаи торҳо (d) -ро танзим мекунад.
Детекторҳо ин намунаҳоро мегиранд, ки барои барқарор кардани сохтори кристаллографӣ таҳлил карда мешаванд.

2. Технологияи сканеркунии Омега

Кристалл пайваста дар атрофи меҳвари собит давр мезанад, дар ҳоле ки рентгенҳо онро равшан мекунанд.
Детекторҳо сигналҳои дифраксиониро дар якчанд ҳавопаймоҳои кристаллографӣ ҷамъоварӣ мекунанд, ки имкон медиҳанд, ки дар тӯли 5 сония пурра ориентацияи торро муайян кунанд.

3. Таҳлили каҷи рокинг

Кунҷи собит кристалл бо кунҷҳои гуногуни фарорасии рентгенӣ барои чен кардани паҳнои қуллаи (FWHM), арзёбии нуқсонҳои тор ва шиддат.

4. Назорати автоматӣ

Интерфейси PLC ва экрани сенсорӣ кунҷҳои буридани пешакӣ, фикру мулоҳизаҳои воқеӣ ва ҳамгироӣ бо мошинҳои буришро барои назорати даври пӯшида имкон медиҳанд.

Афзалиятҳо ва хусусиятҳо

1. Дақиқӣ ва самаранокӣ

Аниқии кунҷӣ ±0,001°, ҳалли ошкоркунии камбудиҳо <30 камон сония.
Суръати сканкунии Омега нисбат ба сканҳои анъанавии Theta 200 маротиба тезтар аст.

2. Модулият ва миқёспазирӣ

Барои барномаҳои махсус васеъ карда мешавад (масалан, вафли SiC, теғҳои турбина).
Интегратсия бо системаҳои MES барои мониторинги истеҳсолот дар вақти воқеӣ.

3. Мутобиқат ва устуворӣ

Намунаҳои номунтазамро ҷойгир мекунад (масалан, зарфҳои саффири кафида).
Тарҳи бо ҳаво хунуккардашуда эҳтиёҷоти нигоҳубинро коҳиш медиҳад.

4. Амалиёти интеллектуалӣ

Калибрченкунии як клик ва коркарди бисёр вазифаҳо.
Калибркунии худкор бо кристаллҳои истинод барои кам кардани хатогии инсон.

Барномаҳо

1. Истеҳсоли нимноқилҳо

Самти буридани вафли: Самтҳои вафли Si, SiC, GaN-ро барои самаранокии оптимизатсияшудаи буридан муайян мекунад.
Харитасозии нуқсонҳо: харошидан ё кандашавии рӯи заминро барои беҳтар кардани ҳосили чип муайян мекунад.

2. Маводҳои оптикӣ

Кристалҳои ғайрихаттӣ (масалан, LBO, BBO) барои дастгоҳҳои лазерӣ.
Нишони сатҳи истинод ба вафли сапфир барои субстратҳои LED.

3. Керамика ва композитҳо

Самти гандумро дар Si3N4 ва ZrO2 барои барномаҳои ҳарорати баланд таҳлил мекунад.

4. Таҳқиқот ва назорати сифат

Донишгоҳҳо/лабораторияҳо барои рушди нави мавод (масалан, хӯлаҳои энтропии баланд).
QC саноатӣ барои таъмини мувофиқати партия.

Хидматҳои XKH

XKH дастгирии ҳамаҷонибаи техникии давраи ҳаётро барои асбобҳои ориентацияи вафли, аз ҷумла насб, оптимизатсияи параметрҳои раванд, таҳлили каҷи ҷунбиш ва харитасозии нуқсонҳои сатҳи 3D пешниҳод мекунад. Қарорҳои фармоишӣ (масалан, технологияи stacking анбор) барои баланд бардоштани самаранокии истеҳсоли нимноқилҳо ва маводи оптикӣ зиёда аз 30% пешниҳод карда мешаванд. Гурӯҳи махсус дар макон омӯзиш мегузаронад, дар ҳоле ки дастгирии дурдасти 24/7 ва иваз кардани қисмҳои эҳтиётии зуд эътимоднокии таҷҳизотро таъмин мекунад.

гузашта: Табақи сафолии SiC барои интиқолдиҳандаи вафли бо муқовимати баланд ба ҳарорат

Баъдӣ: Лабораторияи ашёи хоми сапфири зард, ки барои истеҳсоли ҷавоҳирот сохта шудааст