Таҷҳизоти пурра худкори буридани ҳалқаҳои вафли Андозаи корӣ Буридани ҳалқаҳои вафли 8 дюйм/12 дюйм
Параметрҳои техникӣ
| Параметр | Воҳид | Мушаххасот |
| Андозаи максималии кор | mm | ø12" |
| Шпиндел | Конфигуратсия | Шпинделҳои ягона |
| Суръат | 3,000–60,000 чархзанӣ дар як дақиқа | |
| Қувваи баромад | 1.8 кВт (2.4 ихтиёрӣ) дар 30,000 дақиқа⁻¹ | |
| Диаметри Max Blade. | Ø58 мм | |
| Меҳвари X | Диапазони буриш | 310 мм |
| Меҳвари Y | Диапазони буриш | 310 мм |
| Афзоиши қадам | 0.0001 мм | |
| Дақиқии ҷойгиркунӣ | ≤0.003 мм/310 мм, ≤0.002 мм/5 мм (хатои ягона) | |
| Меҳвари Z | Қарори ҳаракат | 0.00005 мм |
| Такрорпазирӣ | 0.001 мм | |
| меҳвари θ | Гардиши максималӣ | 380 дараҷа |
| Навъи шпиндель | Шпинделҳои ягона, ки бо теғи сахт барои буридани ҳалқа муҷаҳҳаз шудаанд | |
| Дақиқии буридани ҳалқа | мкм | ±50 |
| Дақиқии ҷойгиркунии вафл | мкм | ±50 |
| Самаранокии яккаратаи вафлӣ | дақ/вафли | 8 |
| Самаранокии бисёрқабата | То 4 лавҳаи ҳамзамон коркардшаванда | |
| Вазни таҷҳизот | kg | ≈3,200 |
| Андозаҳои таҷҳизот (П×Т×Б) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
Принсипи фаъолият
Система тавассути ин технологияҳои асосӣ ба самаранокии аълои буридани буридан ноил мегардад:
1. Системаи идоракунии ҳаракати интеллектуалӣ:
· Гардиши муҳаррики хаттии дақиқи баланд (дақиқии такрории ҷойгиркунӣ: ±0.5μm)
· Идоракунии синхронии шашмеҳварӣ, ки банақшагирии мураккаби траекторияро дастгирӣ мекунад
· Алгоритмҳои пахшкунии ларзиш дар вақти воқеӣ, ки устувории буришро таъмин мекунанд
2. Системаи пешрафтаи ошкоркунӣ:
· Сенсори баландии лазерии сеченакаи ҳамгирошуда (дақиқӣ: 0.1μm)
· Ҷойгиркунии визуалии CCD бо қарори баланд (5 мегапиксел)
· Модули санҷиши сифат онлайн
3. Раванди пурра автоматӣ:
· Боркунӣ/борфарории худкор (бо интерфейси стандартии FOUP мувофиқ аст)
· Системаи интеллектуалии ҷудокунӣ
· Дастгоҳи тозакунии ҳалқаи пӯшида (тозагӣ: Синфи 10)
Барномаҳои маъмулӣ
Ин таҷҳизот дар барномаҳои истеҳсоли нимноқилҳо арзиши назаррас дорад:
| Майдони дархост | Маводҳои раванд | Бартариятҳои техникӣ |
| Истеҳсоли IC | Вафлиҳои силиконии 8/12 дюймӣ | Ҳамоҳангсозии литографияро беҳтар мекунад |
| Дастгоҳҳои барқӣ | Вафлиҳои SiC/GaN | Аз нуқсонҳои канорӣ пешгирӣ мекунад |
| Сенсорҳои MEMS | Вафлиҳои SOI | Эътимоднокии дастгоҳро таъмин мекунад |
| Дастгоҳҳои RF | Вафли GaAs | Иҷрои басомади баландро беҳтар мекунад |
| Бастабандии пешрафта | Вафлиҳои барқароршуда | Ҳосилнокии бастабандиро зиёд мекунад |
Вижагиҳо
1. Танзимоти чор истгоҳ барои самаранокии баланди коркард;
2. Тозакунии устувори ҳалқаи TAIKO ва хориҷ кардан;
3. Мутобиқати баланд бо масолеҳи асосии истеъмолӣ;
4. Технологияи буридани синхронии бисёрмеҳварӣ буриши дақиқи канорро таъмин мекунад;
5. Ҷараёни пурра автоматикунонидашудаи раванд хароҷоти меҳнатро ба таври назаррас коҳиш медиҳад;
6. Тарроҳии фармоишии мизи корӣ имкон медиҳад, ки сохторҳои махсус коркарди устувор анҷом дода шаванд;
Вазифаҳо
1. Системаи ошкоркунии афтидани ҳалқа;
2. Тозакунии автоматии мизи корӣ;
3. Системаи интеллектуалии дебонтатсиякунии ултрабунафш;
4. Сабти гузориши амалиётӣ;
5. Ҳамгироии модули автоматикунонии завод;
Ӯҳдадории хидматрасонӣ
XKH хидматҳои ҳамаҷониба ва пурраи дастгирии давраи ҳаётро пешниҳод мекунад, ки барои ба ҳадди аксар расонидани самаранокии таҷҳизот ва самаранокии амалиётӣ дар тӯли сафари истеҳсолии шумо тарҳрезӣ шудаанд.
1. Хизматрасониҳои фардӣ
· Танзимоти таҷҳизоти фармоишӣ: Гурӯҳи муҳандисии мо бо мизоҷон зич ҳамкорӣ мекунад, то параметрҳои системаро (суръати буриш, интихоби теғ ва ғайра) дар асоси хосиятҳои мушаххаси мавод (Si/SiC/GaAs) ва талаботи раванд беҳтар созад.
· Дастгирии таҳияи равандҳо: Мо коркарди намунаҳоро бо гузоришҳои муфассали таҳлил, аз ҷумла андозагирии ноҳамвории канорҳо ва харитасозии нуқсонҳо, пешниҳод менамоем.
· Таҳияи муштараки маводҳои масрафӣ: Барои маводҳои нав (масалан, Ga₂O₃), мо бо истеҳсолкунандагони пешбари маводҳои масрафӣ барои таҳияи кордҳо/оптикаи лазерии махсус барои барномаҳо ҳамкорӣ мекунем.
2. Дастгирии техникии касбӣ
· Дастгирии махсус дар макон: Муҳандисони сертификатсияшударо барои марҳилаҳои муҳими афзоиш (одатан 2-4 ҳафта) таъин кунед, ки инҳоро дар бар мегирад:
Калибровкаи таҷҳизот ва танзими дақиқи равандҳо
Омӯзиши маҳорати оператор
Дастури ҳамгироии утоқи тозаи ISO синфи 5
· Нигоҳдории пешгӯӣ: Санҷиши семоҳавии саломатӣ бо таҳлили ларзиш ва ташхиси мотори серво барои пешгирии аз кор мондани ғайринақшавӣ.
· Мониторинги дурдаст: Пайгирии кори таҷҳизот дар вақти воқеӣ тавассути платформаи IoT-и мо (JCFront Connect®) бо огоҳиҳои автоматии аномалия.
3. Хизматрасониҳои арзиши иловашуда
· Пойгоҳи донишҳои равандҳо: Дастрасӣ ба зиёда аз 300 дорухатҳои буридани тасдиқшуда барои масолеҳи гуногун (ҳар семоҳа навсозӣ мешавад).
· Ҳамоҳангсозии харитаи роҳ дар технология: Сармоягузории худро бо роҳҳои навсозии сахтафзор/нармафзор (масалан, модули муайянкунии нуқсонҳо дар асоси зеҳни сунъӣ) барои оянда муҳофизат кунед.
· Вокуниш ба ҳолатҳои фавқулодда: Ташхиси фосилавии 4-соата ва мудохилаи 48-соата дар ҷои ҳодиса кафолат дода мешавад (фарогирии ҷаҳонӣ).
4. Инфрасохтори хизматрасонӣ
· Кафолати иҷроиш: Ӯҳдадории шартномавӣ барои ≥98% вақти коршоямии таҷҳизот бо вақтҳои посухдиҳии бо SLA дастгирӣшуда.
Такмили доимӣ
Мо дар як сол ду маротиба пурсишҳои қаноатмандии муштариёнро анҷом медиҳем ва ташаббусҳои Кайдзенро барои беҳтар кардани расонидани хизматрасонӣ амалӣ менамоем. Гурӯҳи тадқиқот ва рушди мо фаҳмишҳои соҳавиро ба навсозии таҷҳизот табдил медиҳад - 30% такмилдиҳии нармафзор аз фикру мулоҳизаҳои муштариён сарчашма мегирад.









