Таҷҳизоти арраи буридани дақиқи пурра худкори 12-дюйма Системаи махсуси буридани вафли барои Si/SiC ва HBM (Al)

Таҷҳизоти арраи буридани дақиқи пурра худкори 12-дюйма Системаи махсуси буридани вафлӣ барои Si/SiC ва HBM (Al) Тасвири махсус

Тавсифи мухтасар:

Таҷҳизоти буридани дақиқи пурра худкор як системаи буриши дақиқи баланд мебошад, ки махсус барои саноати нимноқилҳо ва қисмҳои электронӣ таҳия шудааст. Он технологияи пешрафтаи назорати ҳаракат ва мавқеъгирии интеллектуалии визуалиро барои ноил шудан ба дақиқии коркард дар сатҳи микрон дар бар мегирад. Ин таҷҳизот барои буридани дақиқи маводҳои гуногуни сахт ва шикананда, аз ҷумла: мувофиқ аст.
1. Маводҳои нимноқил: Силикон (Si), карбиди кремний (SiC), арсениди галлий (GaAs), субстратҳои литий танталат/ниобати литий (LT/LN) ва ғайра.
2. Маводҳои бастабандӣ: Субстратҳои сафолӣ, чаҳорчӯбаҳои QFN/DFN, субстратҳои бастабандии BGA.
3. Дастгоҳҳои функсионалӣ: Филтрҳои мавҷи акустикии сатҳӣ (SAW), модулҳои хунуккунии термоэлектрикӣ, пластинаҳои WLCSP.

XKH озмоиши мутобиқати мавод ва хидматҳои мутобиқсозии равандҳоро пешниҳод мекунад, то боварӣ ҳосил кунад, ки таҷҳизот ба ниёзҳои истеҳсолии муштариён комилан мувофиқат мекунад ва ҳам барои намунаҳои R&D ва ҳам барои коркарди партиявӣ роҳҳои ҳалли беҳтаринро пешниҳод мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Параметрҳои техникӣ

Параметр	Мушаххасот
Андозаи корӣ	Φ8", Φ12"
Шпиндел	Ду меҳвари 1.2/1.8/2.4/3.0, ҳадди аксар 60000 чархзанӣ дар як дақиқа
Андозаи теғ	2" ~ 3"
Меҳвари Y1 / Y2	Афзоиши якқадам: 0.0001 мм
	Дақиқии ҷойгиркунӣ: <0.002 мм
	Диапазони буриш: 310 мм
Меҳвари X	Диапазони суръати ғизодиҳӣ: 0.1–600 мм/с
Меҳвари Z1 / Z2	Афзоиши якқадам: 0.0001 мм
Меҳвари Z1 / Z2	Дақиқии ҷойгиркунӣ: ≤ 0.001 мм
Меҳвари θ	Дақиқии ҷойгиркунӣ: ±15"
Нуқтаи тозакунӣ	Суръати гардиш: 100–3000 rpm
Нуқтаи тозакунӣ	Усули тозакунӣ: шустани худкор ва хушккунӣ
Шиддати корӣ	3-фазаи 380V 50Hz
Андозаҳо (П×Т×Б)	1550×1255×1880 мм
Вазн	2100 кг

Принсипи корӣ

Таҷҳизот буриши дақиқи баландро тавассути технологияҳои зерин ба даст меорад:
1. Системаи шпинделии сахт: Суръати гардиш то 60,000 RPM, ки бо теғҳои алмосӣ ё сарҳои буридани лазерӣ муҷаҳҳаз шудааст, то ба хосиятҳои гуногуни мавод мутобиқ шавад.

2. Идоракунии ҳаракати бисёрмеҳварӣ: дақиқии ҷойгиркунии меҳвари X/Y/Z ±1μm, ки бо тарозуҳои панҷараи баландсифат ҷуфт карда шудааст, то роҳҳои буриши бидуни каҷравӣ таъмин карда шаванд.

3. Ҳамоҳангсозии интеллектуалии визуалӣ: CCD-и баландсифат (5 мегапиксел) буриши кӯчаҳоро ба таври худкор муайян мекунад ва каҷшавӣ ё номувофиқ будани маводро ҷуброн мекунад.

4. Хунуккунӣ ва тозакунии чанг: Системаи ҳамгирошудаи хунуккунии оби тоза ва тозакунии чанг бо усули вакуумӣ барои кам кардани таъсири гармӣ ва ифлосшавии зарраҳо.

Усулҳои буридан

1. Буридани теғ бо теғ: Барои маводҳои нимноқилҳои анъанавӣ ба монанди Si ва GaAs мувофиқ аст, ки паҳнои керф аз 50 то 100μm аст.

2. Буридани лазерии пинҳонӣ: Барои вафлиҳои ултра тунук (<100μm) ё маводҳои нозук (масалан, LT/LN) истифода мешавад, ки ҷудокунии бе фишорро имконпазир месозад.

Барномаҳои маъмулӣ

Маводи мувофиқ	Майдони дархост	Талаботҳои коркард
Силикон (Si)	IC, сенсорҳои MEMS	Буридани дақиқи баланд, пора кардан <10μm
Карбиди кремний (SiC)	Дастгоҳҳои барқӣ (MOSFET/диодҳо)	Буридани камзарар, беҳсозии идоракунии гармӣ
Галлий Арсенид (GaAs)	Дастгоҳҳои RF, микросхемаҳои оптоэлектронӣ	Пешгирии микрошикофҳо, назорати тозагӣ
Субстратҳои LT/LN	Филтрҳои SAW, модуляторҳои оптикӣ	Буридани бе стресс, нигоҳ доштани хосиятҳои пьезоэлектрикӣ
Субстратҳои сафолӣ	Модулҳои барқ, бастабандии LED	Коркарди мавод бо сахтии баланд, ҳамвории канор
Чорчӯбаҳои QFN/DFN	Бастабандии пешрафта	Буридани ҳамзамони бисёрчип, беҳсозии самаранокӣ
Вафлиҳои WLCSP	Бастабандии сатҳи вафлӣ	Реза кардани вафлиҳои ултра тунук бе зарар (50 мкм)

Бартариҳо

1. Сканкунии кадри кассетаи баландсуръат бо сигнализатсияҳои пешгирии бархӯрд, ҷойгиркунии зуди интиқол ва қобилияти қавии ислоҳи хатогиҳо.

2. Реҷаи буриши душпиндлӣ беҳтар карда шуд, ки самаранокиро тақрибан 80% дар муқоиса бо системаҳои якшпиндлӣ беҳтар кард.

3. Винтҳои тӯбии воридотии дақиқ, роҳнамоҳои хаттӣ ва идоракунии ҳалқаи пӯшидаи миқёси меҳвари Y, ки устувории дарозмуддати коркарди дақиқи баландро таъмин мекунанд.

4. Боркунӣ/борфарорӣ, ҷойгиркунии интиқол, буридани ҳамворкунӣ ва санҷиши гардиш пурра автоматӣ карда шудааст, ки бори кории операторро (OP) ба таври назаррас кам мекунад.

5. Сохтори васлкунии шпиндел ба услуби гантри, бо фосилаи ҳадди ақали ду теғ 24 мм, ки мутобиқшавии васеътарро барои равандҳои буриши ду шпиндел фароҳам меорад.

Вижагиҳо

1. Андозагирии баландии бе тамос бо дақиқии баланд.

2. Буриши ду-теғӣ бо бисёрқабата дар як табақча.

3. Системаҳои калибрченкунии худкор, санҷиши гардиш ва ошкоркунии шикастани теғ.

4. Равандҳои гуногунро бо алгоритмҳои интихобшавандаи худкори ҳамоҳангсозӣ дастгирӣ мекунад.

5. Функсияи худислоҳи хатогиҳо ва мониторинги бисёрмавқеъ дар вақти воқеӣ.

6. Қобилияти санҷиши буриши аввал пас аз буридани аввалия.

7. Модулҳои автоматикунонии заводӣ ва дигар функсияҳои ихтиёрӣ.

Маводҳои мувофиқ

Хизматрасонии таҷҳизот

Мо дастгирии ҳамаҷонибаро аз интихоби таҷҳизот то нигоҳдории дарозмуддат пешниҳод менамоем:

(1) Таҳияи фармоишӣ
· Тавсия додани маҳлулҳои буриши теғ/лазерӣ дар асоси хосиятҳои мавод (масалан, сахтии SiC, шикастагии GaAs).

· Барои тасдиқи сифати буриш (аз ҷумла порашавӣ, паҳнои буриш, ноҳамвории сатҳ ва ғайра) озмоиши ройгони намуна пешниҳод кунед.

(2) Омӯзиши техникӣ
· Омӯзиши асосӣ: Кор бо таҷҳизот, танзими параметрҳо, нигоҳдории мунтазам.
· Курсҳои пешрафта: Беҳсозии равандҳо барои маводҳои мураккаб (масалан, буридани субстратҳои LT бе фишор).

(3) Дастгирии пас аз фурӯш
· Вокуниш 24/7: Ташхиси дурдаст ё кӯмак дар макон.
· Таъминоти қисмҳои эҳтиётӣ: Шпиндельҳо, теғҳо ва ҷузъҳои оптикии захирашуда барои ивазкунии фаврӣ.
· Нигоҳдории пешгирикунанда: Калибрченкунии мунтазам барои нигоҳ доштани дақиқӣ ва дароз кардани мӯҳлати хизмат.

Бартариятҳои мо

✔ Таҷрибаи соҳавӣ: Хизматрасонӣ ба зиёда аз 300 истеҳсолкунандагони нимноқилҳо ва электроникаи ҷаҳонӣ.
✔ Технологияи муосир: Роҳнамоҳои хаттии дақиқ ва системаҳои серво устувории пешбари соҳаро таъмин мекунанд.
✔ Шабакаи хидматрасонии ҷаҳонӣ: Фарогирӣ дар Осиё, Аврупо ва Амрикои Шимолӣ барои дастгирии маҳаллӣ.
Барои санҷиш ё дархостҳо, бо мо тамос гиред!