12 дюйм Таҷҳизоти пурраи худкори дақиқи арра вафли системаи буридани махсус барои Si/SiC & HBM (Al)

12 дюйм Таҷҳизоти арраи дақиқи пурраи автоматии вафли системаи буриши махсус барои Si/SiC & HBM (Al)

Тавсифи кӯтоҳ:

Таҷҳизоти буриши дақиқи пурраи автоматӣ як системаи буриши дақиқи баланд аст, ки махсус барои саноати нимноқилҳо ва ҷузъҳои электронӣ таҳия шудааст. Он технологияи пешрафтаи идоракунии ҳаракат ва ҷойгиркунии интеллектуалии визуалиро барои ноил шудан ба дақиқии коркард дар сатҳи микрон дар бар мегирад. Ин таҷҳизот барои буридани дақиқи маводи гуногуни сахт ва шикаста мувофиқ аст, аз ҷумла:
1.Маводҳои нимноқил: кремний (Si), карбиди кремний (SiC), арсениди галий (GaAs), субстратҳои литий танталат / ниобати литий (LT / LN) ва ғайра.
2.Маводҳои бастабандӣ: субстратҳои сафолӣ, чаҳорчӯбаи QFN / DFN, субстратҳои бастабандии BGA.
3. Дастгоҳҳои функсионалӣ: Филтрҳои мавҷи акустикии рӯизаминӣ (SAW), модулҳои хунуккунии термоэлектрикӣ, вафли WLCSP.

XKH санҷиши мутобиқати моддӣ ва хидматрасонии мутобиқсозии равандҳоро пешниҳод мекунад, то ки таҷҳизот ба эҳтиёҷоти истеҳсолии муштариён комилан мувофиқат кунад ва ҳам барои намунаҳои R&D ва ҳам коркарди партия ҳалли беҳтаринро пешниҳод кунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Параметрҳои техникӣ

Параметр	Мушаххасоти
Андозаи корӣ	Φ8", Φ12"
Шпиндель	Ду меҳвари 1,2/1,8/2,4/3,0, Макс 60000 чархзанӣ
Андозаи майса	2" ~ 3"
Меҳвари Y1 / Y2	Афзоиши як қадам: 0,0001 мм
	Дурустии ҷойгиркунӣ: <0,002 мм
	Диапазони буриш: 310 мм
X меҳвари	Диапазони суръати ғизо: 0,1-600 мм / с
Z1 / Z2 меҳвари	Афзоиши як қадам: 0,0001 мм
Z1 / Z2 меҳвари	Дурустии ҷойгиркунӣ: ≤ 0,001 мм
θ меҳвар	Аниқии ҷойгиршавӣ: ± 15"
Пойгоҳи тозакунӣ	Суръати гардиш: 100-3000 чархзанӣ
Пойгоҳи тозакунӣ	Усули тозакунӣ: Шустани худкор ва хушккунӣ
Шиддати корӣ	3-фаза 380В 50Гц
Андозаҳо (W × D × H)	1550×1255×1880 мм
Вазн	2100 кг

Принсипи кор

Таҷҳизот тавассути технологияҳои зерин буридани дақиқи баландро ба даст меорад:
1.Системаи шпиндели баланд: Суръати гардиш то 60,000 RPM, ки бо blades алмос ё сари буридани лазерӣ муҷаҳҳаз барои мутобиқ шудан ба хосиятҳои гуногуни моддӣ.

2.Назорати ҳаракати бисёр меҳвар: дақиқии ҷойгиркунии меҳвари X / Y / Z аз ± 1μm, ки бо тарозуи гртинги дақиқи баланд барои таъмини роҳҳои буриши бидуни каҷ пайваст карда шудааст.

3.Intelligent Ҳамоҳангсозии визуалӣ: CCD-и баландсифат (5 мегапиксел) ба таври худкор буридани кӯчаҳоро эътироф мекунад ва вайроншавии моддӣ ё нодурустро ҷуброн мекунад.

4.Cooling & тозакунии чанг: Системаи ҳамгирошудаи сардшавии оби пок ва тозакунии чангкашак барои кам кардани таъсири гармидиҳӣ ва олудашавии зарраҳо.

Усулҳои буридан

1.Dicing Blade: Муносиб барои маводи нимноқилҳои анъанавӣ ба монанди Si ва GaAs, бо паҳнои kerf аз 50-100μm.

2.Stealth Laser Dicing: Барои вафли ултра борик (<100μm) ё маводи нозук (масалан, LT/LN) истифода мешавад, ки имкон медиҳад, ки ҷудошавии бидуни стрессро фароҳам орад.

Барномаҳои маъмулӣ

Маводи мувофиқ	Майдони ариза	Талаботи коркард
Силикон (Si)	IC, сенсорҳои MEMS	Буридани дақиқи баланд, буридан <10μm
Карбиди кремний (SiC)	Дастгоҳҳои барқӣ (MOSFET/diodes)	Буридани зарари кам, оптимизатсияи идоракунии гармидиҳӣ
Галий арсениди (GaAs)	Дастгоҳҳои RF, микросхемаҳои оптоэлектронӣ	Пешгирии микро-тарқишҳо, назорати тозагӣ
Субстратҳои LT/LN	Филтрҳои SAW, модуляторҳои оптикӣ	Буридани бе фишор, нигоҳ доштани хосиятҳои пьезоэлектрикӣ
Субстратҳои керамикӣ	Модулҳои барқ, бастаи LED	Коркарди масолехи сахти баланд, хамвории канор
Чорчӯбҳои QFN/DFN	Бастабандии пешрафта	Буридани ҳамзамон бисёр чип, оптимизатсияи самаранокӣ
Вафли WLCSP	Бастабандии сатҳи вафли	Буридани бе осеби вафлиҳои ултра борик (50μm)

Афзалиятҳо

1. Сканкунии чаҳорчӯбаи кассетаи баландсуръат бо ҳушдорҳои пешгирии бархӯрд, ҷойгиркунии интиқоли зуд ва қобилияти қавии ислоҳи хатогиҳо.

2. Реҷаи буридани дугонаи шпиндели оптимизатсияшуда, дар муқоиса бо системаҳои як-шпинделӣ самаранокии тақрибан 80% беҳтар карда шудааст.

3. Буридани тӯбҳои дақиқ воридшуда, дастурҳои хатӣ ва миқёси Y-меҳвари grating назорати даврии пӯшида, таъмини устувории дарозмуддати коркарди дақиқи баланд.

4. Пурборкунӣ/борфарорӣ, ҷойгиркунии интиқол, буридани ҳамворкунӣ ва санҷиши kerf, ки сарбории операторро (OP) ба таври назаррас коҳиш медиҳад.

5.Сохтори васлкунии шпиндели-сабки Gantry, бо ҳадди ақали фосилаи дугонаи майса аз 24мм, имкон медиҳад, ки мутобиқсозии васеътар барои равандҳои буриши дугона-шпинделӣ.

Вижагиҳо

1.Андозаи баландии ғайритиҷоратӣ.

2.Мулти-вафферӣ буридани дугона майса дар як табақи ягона.

3. Калибрченкунии автоматӣ, санҷиши kerf ва системаҳои муайянкунии шикастани майса.

4.Процессҳои гуногунро бо алгоритмҳои ҳамоҳангсозии автоматии интихобшаванда дастгирӣ мекунад.

5.Функсияи ислоҳи худидоракунии хато ва мониторинги бисёрҷонибаи мавқеъ дар вақти воқеӣ.

6.Иқтидори нозироти аввал-бурида пас аз dicing ибтидоӣ.

Модулҳои автоматикунонии 7.Customizable завод ва дигар вазифаҳои ихтиёрӣ.

Маводҳои мувофиқ

Хизматрасонии таҷҳизот

Мо дастгирии ҳамаҷониба аз интихоби таҷҳизот то нигоҳдории дарозмуддат пешниҳод менамоем:

(1) Рушди фармоишӣ
· Маслиҳатҳои буридани майса/лазериро дар асоси хосиятҳои моддӣ тавсия диҳед (масалан, сахтии SiC, шикастани GaAs).

· Барои санҷидани сифати буриш (аз ҷумла чипканӣ, паҳнои буриш, ноҳамвории сатҳ ва ғайра) озмоиши ройгони намунаро пешниҳод кунед.

(2) Омӯзиши техникӣ
· Омӯзиши асосӣ: Фаъолияти таҷҳизот, танзими параметрҳо, нигоҳдории мунтазам.
· Курсҳои пешрафта: Оптимизатсияи равандҳо барои маводҳои мураккаб (масалан, буридани бе фишори субстратҳои LT).

(3) Дастгирии пас аз фурӯш
· Ҷавоби 24/7: Ташхиси дурдаст ё кӯмак дар макон.
· Таъмини қисмҳои эҳтиётӣ: шпиндельҳо, теғҳо ва ҷузъҳои оптикӣ барои зуд иваз кардан.
· Нигоҳдории пешгирикунанда: Калибровкаи мунтазам барои нигоҳ доштани дақиқӣ ва дароз кардани мӯҳлати хидмат.

Афзалиятхои мо

✔ Таҷрибаи саноатӣ: Хизматрасонӣ ба зиёда аз 300 истеҳсолкунандагони ҷаҳонии нимноқилҳо ва электроника.
✔ Технологияи пешрафта: Дастурҳои дақиқи хатӣ ва системаҳои серво устувории пешсафи соҳаро таъмин мекунанд.
✔ Шабакаи глобалии хидматрасонӣ: фарогирӣ дар Осиё, Аврупо ва Амрикои Шимолӣ барои дастгирии маҳаллӣ.
Барои санҷиш ё дархост, бо мо тамос гиред!