Таҷҳизоти пурраи худкори ҳалқаи вафли буридани андозаи кории 8 дюйм/12 дюйм буридани ҳалқаи вафли

Таҷҳизоти пурраи худкори ҳалқаи буридани вафли андозаи кории 8 дюйм/12 дюйм буридани ҳалқаи вафли тасвири пешниҳодшуда

Тавсифи кӯтоҳ:

XKH мустақилона як системаи буридани канори вафли пурраи автоматиро таҳия кардааст, ки як ҳалли пешрафтаест, ки барои равандҳои истеҳсоли нимноқилҳои пешина пешбинӣ шудааст. Ин таҷҳизот технологияи инноватсионии назорати синхронии бисёр меҳвариро дар бар мегирад ва дорои системаи баланди шпиндели (суръати максималии гардиш: 60,000 RPM), ки буридани канори дақиқро бо дақиқии буриш то ±5 мкм таъмин мекунад. Система мутобиқати аълоро бо субстратҳои гуногуни нимноқилҳо нишон медиҳад, аз ҷумла, вале бо ин маҳдуд намешавад:
1.Вафли кремний (Si): Муносиб барои коркарди канори вафли 8-12 дюйм;
2.Нимноқилҳои омехта: Маводҳои нимноқилҳои насли сеюм ба монанди GaAs ва SiC；
3. Субстратҳои махсус: Вафли маводи пьезоэлектрикӣ, аз ҷумла LT/LN；

Тарҳрезии модулӣ ивазкунии босуръати масолеҳи сершуморро, аз ҷумла теғҳои алмосӣ ва сари буридани лазериро дастгирӣ мекунад, ки мутобиқат аз стандартҳои саноатӣ болотар аст. Барои талаботҳои махсуси раванд, мо ҳалли ҳамаҷониба пешниҳод менамоем, ки иборатанд аз:
· Таъмини маводи буридани махсус
· Хизматрасонии коркарди фармоишӣ
· Ҳалли оптимизатсияи параметрҳои раванд

Ба мо почтаи электронӣ фиристед

Вижагиҳо

Параметрҳои техникӣ

Параметр	Воҳиди	Мушаххасоти
Андозаи максималии қисмҳои корӣ	mm	ø12"
Шпиндель	Конфигуратсия	Шпиндели ягона
	Суръат	3,000-60,000 чархзанӣ
	Қувваи баромад	1,8 кВт (2,4 ихтиёрӣ) дар 30,000 min⁻¹
	Max Blade Dia.	Ø58мм
Меҳвари X	Диапазони буриш	310 мм
Меҳвари Y	Диапазони буриш	310 мм
	Афзоиши қадам	0,0001мм
	Дурустии ҷойгиршавӣ	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (хатои ягона)
Z-меҳвари	Қарори ҳаракат	0,00005 мм
Z-меҳвари	Такрорпазирӣ	0,001мм
θ - меҳвар	Максимум гардиш	380 дараҷа
Навъи шпиндель		Шпиндели ягона, ки бо теғи сахт барои буридани ҳалқа муҷаҳҳаз шудааст
Аниқии буридани ҳалқа	мкм	±50
Дурустии ҷойгиркунии вафли	мкм	±50
Самаранокии як вафли	мин/вафли	8
Самаранокии бисёрҷониба		Дар як вақт то 4 вафли коркард карда мешавад
Вазни таҷҳизот	kg	≈3,200
Андозаҳои таҷҳизот (W × D × H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Принсипи амалиёт

Система тавассути ин технологияҳои асосӣ ба иҷрои истисноии буридан ноил мешавад:

1.Системаи идоракунии интеллектуалии ҳаракат:
· Диски мотори хаттии дақиқи баланд (дақиқии ҷойгиркунии такрорӣ: ± 0,5 мкм)
· Назорати синхронии шаш меҳвар, ки банақшагирии мураккаби траекторияро дастгирӣ мекунад
· Алгоритмҳои рафъи ларзиш дар вақти воқеӣ, ки устувории буришро таъмин мекунанд

2.Системаи мукаммали ошкор:
· Сенсори баландии лазерии ҳамгирошудаи 3D (дақиқӣ: 0,1 мкм)
· Ҷойгиркунии визуалии CCD-и баландсифат (5 мегапиксел)
· Модули санҷиши сифат

3. Раванди пурра автоматӣ:
· Боркунии автоматӣ/борфарорӣ (интерфейси стандартии FOUP мувофиқ аст)
· Системаи интеллектуалии ҷудокунӣ
· Дастгоҳи тозакунии ҳалқаи пӯшида (тоза: Синфи 10)

Барномаҳои маъмулӣ

Ин таҷҳизот арзиши назаррасро дар барномаҳои истеҳсоли нимноқилҳо таъмин мекунад:

Майдони ариза	Маводҳои коркард	Афзалиятҳои техникӣ
IC Manufacturing	8/12 "Вафли кремний	Ҳамоҳангсозии литографияро беҳтар мекунад
Дастгоҳҳои барқ	Вафли SiC/GaN	Камбудиҳои канориро пешгирӣ мекунад
Сенсорҳои MEMS	Вафли SOI	эътимоднокии дастгоҳро таъмин мекунад
Дастгоҳҳои RF	Вафли GaAs	Фаъолияти басомади баландро беҳтар мекунад
Бастабандии пешрафта	Вафли аз нав барқароршуда	Ҳосили бастабандиро зиёд мекунад

Вижагиҳо

1. Конфигуратсияи чор истгоҳ барои самаранокии баланди коркард;
2. Пайвастшавӣ ва хориҷ кардани ҳалқаи устувори TAIKO；
3.Мутобиқати баланд бо масолеҳи асосӣ;
4. Технологияи буридани синхронии бисёр меҳвар буридани канори дақиқро таъмин мекунад;
5. Ҷараёни равандҳои пурра автоматӣ хароҷоти меҳнатро ба таври назаррас коҳиш медиҳад;
6. Тарҳи фармоишии мизи корӣ имкон медиҳад коркарди устувори сохторҳои махсус；

Функсияҳо

1.Системаи муайянкунии тарки ҳалқа;
2. Тозакунии худкори мизи корӣ;
3. Системаи интеллектуалии ҷудокунии ултрабунафш;
4. Сабти сабти амалиёт;
5.Интегратсияи модули автоматикунонии завод;

Уҳдадории хидматрасонӣ

XKH хидматҳои ҳамаҷониба ва пурраи давраи ҳаётро пешкаш мекунад, ки барои ҳадди аксар баланд бардоштани самаранокии таҷҳизот ва самаранокии амалиётӣ дар тӯли сафари истеҳсолии шумо пешбинӣ шудааст.
1. Хидматҳои мутобиқсозӣ
· Конфигуратсияи таҷҳизоти мутобиқшуда: Гурӯҳи муҳандисии мо бо муштариён зич ҳамкорӣ мекунад, то параметрҳои системаро (суръати буриш, интихоби майса ва ғ.) дар асоси хосиятҳои мушаххаси моддӣ (Si/SiC/GaAs) ва талаботи раванд оптимизатсия кунад.
· Дастгирии рушди равандҳо: Мо коркарди намунаҳоро бо ҳисоботи муфассали таҳлил, аз ҷумла андозагирии ноҳамворӣ ва харитасозии нуқсон пешниҳод менамоем.
· Таҳияи муштараки масолеҳи масрафӣ: Барои маводи нав (масалан, Ga₂O₃), мо бо истеҳсолкунандагони пешбари масолеҳи масрафӣ барои таҳияи писачаҳои махсус/оптикаи лазерӣ ҳамкорӣ мекунем.

2. Дастгирии касбии техникӣ
· Дастгирии махсус дар макон: Таъин кардани муҳандисони сертификатсия барои марҳилаҳои муҳими афзоиш (одатан 2-4 ҳафта), фарогирии:
Калибрченкунии таҷҳизот ва танзими дақиқи раванд
Омӯзиши салоҳияти оператор
Роҳнамои ҳамгироии ҳуҷраи тозаи ISO Синфи 5
· Нигоҳдории пешгӯишаванда: Санҷиши саломатӣ дар ҳар семоҳа бо таҳлили ларзиш ва ташхиси моторҳои серво барои пешгирии бекористии ғайринақшавӣ.
· Мониторинги дурдаст: Дар вақти воқеӣ пайгирии кори таҷҳизот тавассути платформаи IoT (JCFront Connect®) бо огоҳиҳои автоматии аномалия.

3. Хидматҳои арзиши иловашуда
· Пойгоҳи дониши раванд: Дастрасӣ ба 300+ рецептҳои буридани тасдиқшуда барои маводҳои гуногун (ҳар семоҳа нав карда мешавад).
· Ҳамоҳангсозии Харитаи Роҳи Технология: Сармоягузории худро бо роҳҳои такмилдиҳии сахтафзор/нармафзор (масалан, модули ошкоркунии камбудиҳо дар асоси AI).
· Вокуниш ба ҳолати фавқулодда: Кафолати ташхиси фосилавии 4 соат ва дахолати 48 соат дар макон (фарогирии ҷаҳонӣ).

4. Инфрасохтори хидматрасонӣ
· Кафолати иҷроиш: ӯҳдадориҳои шартномавӣ оид ба ≥98% вақти кори таҷҳизот бо вақти вокуниш бо SLA дастгирӣ.

Такмили доимӣ

Мо як маротиба дар ду сол пурсишҳои қаноатмандии муштариён мегузаронем ва ташаббусҳои Кайзенро барои беҳтар кардани расонидани хидмат амалӣ месозем. Гурӯҳи R&D-и мо фаҳмиши саҳроиро ба навсозии таҷҳизот тарҷума мекунад - 30% такмилдиҳии нармафзор аз фикру мулоҳизаҳои муштариён сарчашма мегирад.