Вафли диоксиди кремний SiO2 ғафсӣ сайқалёфта, дараҷаи аввал ва озмоишӣ
Муаррифии қуттии вафли
| Маҳсулот | Вафлиҳои оксиди термалӣ (Si+SiO2) |
| Усули истеҳсолот | LPCVD |
| Сайқал додани сатҳ | SSP/DSP |
| Диаметр | 2 дюйм / 3 дюйм / 4 дюйм / 5 дюйм / 6 дюйм |
| Навъ | Навъи P / Навъи N |
| Қабати оксидшавӣ ғафс мешавад | 100нм ~1000нм |
| Самтгирӣ | <100> <111> |
| Муқовимати барқӣ | 0.001-25000(Ω•см) |
| Ариза | Барои интиқолдиҳандаи намунаи радиатсияи синхротронӣ, пӯшиши PVD/CVD ҳамчун субстрат, намунаи афзоиши пошидани магнетронӣ, XRD, SEM истифода мешавад.Қувваи атомӣ, спектроскопияи инфрасурх, спектроскопияи флуоресцентӣ ва дигар субстратҳои озмоишии таҳлил, субстратҳои афзоиши эпитаксиалии шуоъи молекулавӣ, таҳлили рентгении нимноқилҳои кристаллӣ |
Вафли оксиди кремний плёнкаҳои диоксиди кремний мебошанд, ки дар рӯи вафли силикон бо истифода аз оксиген ё буғи об дар ҳарорати баланд (800°C ~ 1150°C) бо истифода аз раванди оксидшавии гармӣ бо таҷҳизоти найчаи кӯраи фишори атмосфера парвариш карда мешаванд. Ғафсии раванд аз 50 нанометр то 2 микрон аст, ҳарорати раванд то 1100 дараҷа гармӣ аст, усули афзоиш ба ду намуди "оксигени тар" ва "оксигени хушк" тақсим мешавад. Оксиди гармӣ як қабати оксиди "афзоишёфта" аст, ки нисбат ба қабатҳои оксиди CVD якрангии баландтар, зичии беҳтар ва қувваи диэлектрикии баландтар дорад, ки сифати баландтарро ба бор меорад.
Оксидшавии хушки оксиген
Кремний бо оксиген реаксия мекунад ва қабати оксид пайваста ба сӯи қабати субстрат ҳаракат мекунад. Оксидшавии хушк бояд дар ҳарорати аз 850 то 1200°C, бо суръати пасттари афзоиш анҷом дода шавад ва онро барои афзоиши дарвозаи изолятсияшудаи MOS истифода бурдан мумкин аст. Оксидшавии хушк нисбат ба оксидшавии тар ҳангоми зарурати қабати оксиди кремнийи ултра тунуки баландсифат афзалтар аст. Иқтидори оксидшавии хушк: 15 нм ~ 300 нм.
2. Оксидшавии тар
Ин усул бо истифода аз буғи об қабати оксидро бо ворид шудан ба найчаи кӯра дар шароити ҳарорати баланд ташкил медиҳад. Зичии оксидшавии оксигени тар нисбат ба оксидшавии оксигени хушк каме бадтар аст, аммо дар муқоиса бо оксидшавии оксигени хушк бартарии он дар он аст, ки он суръати афзоиши баландтар дорад ва барои афзоиши плёнкаи зиёда аз 500 нм мувофиқ аст. Иқтидори оксидшавии тар: 500 нм ~ 2µm.
Найчаи кӯраи оксидшавии фишори атмосфераи AEMD як найчаи кӯраи уфуқии Чехия аст, ки бо устувории баланди раванд, якрангии хуби плёнка ва назорати аълои зарраҳо тавсиф мешавад. Найчаи кӯраи оксиди кремний метавонад то 50 вафлро дар як найча коркард кунад, ки якрангии аълои дохили ва байни вафлҳоро дар бар мегирад.
Диаграммаи муфассал
